美国西特setra 217   高纯压力变送器Model217

Setra 217的应用

·模块式“Block”气体棒和面板

·高纯度气体输送系统

·半导体过程工具

Setra西特217的规格：

精度 RSS 1 ( 恒温下） ±0.25% FS 或 ±1.0% 读数

非线性（较好拟合直线） ±0.15%FS

迟滞 0.20% FS      非重复性 0.02% FS

西特Model 217的温度影响:

温度补偿范围 -9~65℃零点 / 满程漂移 1.8% (%FS/50℃）

西特setra 217   高纯压力变送器的环境参数

  工作温度 3 -40℃ ~+85℃     存放温度 -40℃ ~+85℃

西特setra 227的电气参数（电压）

路 3 线 (COM, OUT, EXC)  

输出 4 0~ 5 VDC 或 0.2~ 5.2VDC5

          0~ 10VDC 或 0.2~ 10.2VDC5

激励   5V FSO（满量程输出）时为 10~30 VDC

            10V FSO（满量程输出）时为 13~30 VDC

西特setra 217   高纯压力变送器的电气参数（电流）：

电路 2 线    输出   4~20mA     外部负载 0-800Ω    

较小供电电压 （VDC） 10+0.02x（接收器附加导线电阻）

较大供电电压（VDC） 30+0.004x（接收器附加导线电阻）

Setra 217 型压力变送器为模块式 “Block” 气体棒和面板设计，非常适合恶劣环境（例如冷气流导致的温度瞬变）下的压力测量应用。

217 型压力变送器可选带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力端口，带有易于吹扫的小型传感器腔室。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造，且表面钝化抛光至 5 Ra（较

大 7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实现无污染气体输送。每个传感器都采用质谱仪进行了 1 x 10-9 A..CC/sec 级别的氦渗漏试验。

西特217 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三种输出类型，并提供多种标准电气接口。顶部外侧带有零点和量程调整装置，进一步体现了  设计，适合所有朝下安装的 UHP（   高纯）压力测量应用。 217 型同时也是一款获  的可变电容传感器，采用 316L 不锈钢隔膜和绝缘电   板，可变电容在传感器本体与电   板之间形成。当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使电容减小。传感器将检测到电容变化，并基于  的电荷平衡原理，通过Setra   的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流电信号。

Setra 217所有的   高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传感技术制造，能提供几乎不受 EMI/RFI    的高精度、  的电压或电流输出信号。

压力类型：绝压  复合压 表压

压力接口：朝下安装C型密封  朝下安装W型密封

西特setra 217的特性

·316 L VIM/VAR 不锈钢·表面抛光度 7 Ra

·1×10-9 A..CC/sec 级别的氨渗漏实验·出色的  性，避免停机

·可选带 C 型或 W 型密封的压力端口·抗电磁    / 射频   ，可防止误停机

·易于吹扫·符合 CE 和 RoHS 标准要求

西特217的压力范围：-14.7—-3000PSI